这种开关的测量通常是构成电容器的一个极板，而另一个极板是开关的外壳。这个外壳在测量过程中通常是接地或与设备的机壳相连接。当有物体移向接近开关时，不论它是否为导体，由于它的接近，总要使电容的介电常数发生变化，从而使电容量发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化，由此便可控制开关的接通或断开。这种接近开关检测的对象，不限于导体，可以绝缘的液体或粉状物等。
原理就是当电源接通时，RC振荡器不震荡，当一目标朝着电容器的电极靠近时，电容器的容量增加，振荡器开始震荡，通过后极电路的处理，将振和震荡两种信号转换成开关信号，电容式接近开关的感应圈由同轴金属电极构成，很像“打开的"电容器电极，这两个电极构成一个电容，串接在RC振荡回路中，从而起到检测有无物体存在的目的。
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