电容式传感器的感应面同两个同心布置的金属电极组成，这两个电极相当于一个非线绕电容器的电极。电极的表面a和b连接到一个高频振荡器的反馈支路中，对该振荡器的调节要使得它在表面自由时不发生振荡。
当物体接近传感器的有效表面时，它就进入了电极表面前面的电场，并引起耦合电容发生改变。振荡器开始发生振荡，振荡幅度由一个评价电路记录下来并被转换为一个开关命令。
电容式接近开关亦属于一种具有开关量输出的位置传感器，它的测量头通常是构成电容器的一个极板，而另一个极板是物体的本身，当物体移向接近开关时，物体和接近开关的介电常数发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化，由此便可控制开关的接通和关断。电容式接近开关对任何介质都可以检测，包括导体、半导体、绝缘体，甚至可以用于检测液体和粉末状物料。对于非金属物体，动作距离决定于材质的介电常数，材料的介电常数越大，可获得的动作距离越大。
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